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无尘洁净室装修气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
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(1) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
(2) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
洁净室概述
洁净室是任何给定的容纳空间,其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数,例如温度,湿度和压力。关键部件是高效微粒空气(HEPA)过滤器,用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器,在某些需要严格清洁性能的情况下,使用超低颗粒空气(ULPA)过滤器。
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。
(1) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(2)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。