(一)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 洁净网z:Wg1pj美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。(二)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。(三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。3.温度和湿度之控制。4.压力之调节。5.有害气体之排除。6.结构物与隔间之气密性。7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。

按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个专业中学洁净实验室装修标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。锡林郭勒盟中学洁净实验室装修每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

为提高实验操作人员使用安全性，确保实验室家具使用正常，实验室装修结束后要进行验收，通风柜、实验台、水槽、通风管道、药品柜等主要功能性设施验收符合要求才能签收正常使用。由于实验室通风柜外箱体整体多采用高分子复合材料制作的，为落地式，验收时主要查看耐酸碱、防腐蚀、阻燃性如何，查看是否是翻新制作的；还要查看是否会掉皮、生锈、变形等。为了使有害气体能彻底排除干净，通风多采用四风道排风，验收时查看采用的是几风道排风。通风柜内柜箱体通常采用优质环保型E1级中密度板、15mm厚双面粘压三聚氰胺板，所有板材截面都会采用PVC热熔胶防水封边处理，再配模具成型特制PVC暗拉手，安装产品电源控制系统。检查内柜箱体时主要检查选用的木质基材、电源控制系统如何。检查实验台面根据不同实验室查看选用的实验台面材质是否符合该实验室要求，是否具有耐腐蚀、防生锈、抗强酸碱、耐高温等优点。如果选用的是实验室专用复合陶瓷台面，厚度要达到30mm，内衬为8mm。实验室采用的铰链要求具有耐酸碱、抗腐蚀、耐磨损、不生锈等优点，还要求具备承重75kg以上的强承重力。实验室选用的地脚大多是采用承重活动轮配置，配置不锈钢和尼龙组合一体的可调固定地脚，具有防滑减震、高低可调的优点，可调高度应在30-50mm之间，为延长使用寿命，还应配备防尘套。水槽通常会选用PP材质的水槽，检查单联水嘴和去水器选用的品牌是否符合合同要求。还要检查实验室装修设计配电装置时选用的电源控制、风机控制、仪器用电控制等组成的综合性能控制系统以及安装的防爆日光灯是否选用国际通用型品牌产品。最后检查通风和管道系统是否具有耐腐、防爆、低能耗、低噪音等优点，选用的风机配备高分子复合材料模具成型管道表面是否光泽亮丽。检测系统工作噪音是否在60分贝以下。

一、引起无尘车间压差波动的外扰因素及常用的基本对策如下（1）HVAC系统阻力变化，主要是过滤器阻力的变化，会引起送风量的变化，影响室内压差的波动。对其控制较易，只要运行到一定时期后系统阻力变化至一定值时，人工及时调整便可。亦常用在定风量阀控制压差时，能自动维持送风量不变，亦有采用变速的送风机，以过滤器压差进行风机转速控制，维持风量一定。（2）室外风压的变化(室外风向及风速等引起)，会影响无尘车间的压差风量，引起室内压差的波动。对其控制也较容易。要求：围护结构及门的气密性好，无尘车间对室外保持≥10Pa压差，相邻无尘车间保持≥5Pa压差，当室外风压对洁净不利时，尚能维持无尘车间内的一定压差而不致出现问题。（3）无尘车间门的启、闭，会引起无尘车间压差的波动。门开启时，两无尘车间的压差不能维持，空气会双向交换，其交换量与两室间的空气温差有关，亦与人的走动有关，国外有研究认为在Δt=0℃，双门的空气交换量约为0.19m3/s；Δt=2℃,则达0.24m3/s。为防止反向流的出现，则流经门的空气速度应大于0.2m/s(ISO 14644-4中提及的维持低压差时所需的气流速度)；在工程中，国外常采用0.25m/s~ 0.5m/s的气流速度。对其控制较不容易，需采用闭环控制。在采用定量控制时，须设置缓冲室或气闸。（4）无尘车间工艺排风的变化必然带来压差的波动，而排风量的变化有时是较大的，此时为不使室内压差波动，不使引起反向流，需要采用闭环控制。（5）HVAC系统的启停以及生物无尘车间薰、蒸、消毒、灭菌所需风阀操作必然引室压的波动，但这都是在非正常运行过程中暂时出现的，对正常运行并无影响，因此需要在系统的风机、阀门等运行的联锁及阀门操作等作规定外，无需在压差控制系统上作考虑。无尘车间的压差控制方式及其系统的选择应与要求相适应。常用的无尘车间压差控制方式基本有两类。一类是所谓的静态控制，即定风量控制，另一类是以“直接压力”控制的闭环控制系统以及余压阀控制。