在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气前提如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。长处：构造简朴、系统建造本钱低，洁净室的扩充比较轻易，在某些特殊用途场所，可并用无尘车间，进步洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统休止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相称长一段时间。层流式层流式空气气流运动成一平均之直线型，空气由笼盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严峻。长处：构造简朴，运转后短时间内即可变成不乱。缺点：建造用度比乱流式高，室内空间不易扩充。(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器笼盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作职员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。长处：治理轻易，运转开始短时间内即可达不乱状态，不易为功课状态或功课职员所影响。缺点：构造用度较高，弹性运用空间难题，天花板之吊架相称占空间，维修更换过滤器较麻烦。

什么是洁净室国际标准化组织对洁净室是这样说明的：该洁净室的悬浮粒子浓度受控，其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子最少；室内其他参数，比如温度、湿度、气压、按需要受控。什么是洁净室该定义前半部分基本说明什么是洁净室，这是一个使粒子的进入、产生、滞留最少华的房间；要实现这一点，首先，要对极大量的送风经高效过滤器过滤。这种送风的目的在于（1）稀释并清除室内人员和设备散发出的粒子和细菌；（2）项房间加压，确保脏空气不会流入洁净室。其次，洁净室的建筑材料不产生粒子且便于清洁。最后，洁净室人员使用无尘服，使他们散发的粒子和微生物最少。这些措施及其他使洁净室引入、产生、滞留的污染至最少的类似措施。洁净室还可以控制温度、湿度、声音、照明、振动。

一、无尘洁净室装修管理制度1.1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。1.2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。1.3洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。二、责任与义务 2.1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。 2.2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。2.3 承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。2.4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。 2.5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。

洁净室通常应用于微电子工业、精密仪器、LED、液晶等等一些从事精密的生产和科学实验活动场所。需要得达到一定无尘生产环境，而专门装修设计的无尘厂房、无尘车间。洁净厂房与外界空间进行分离，不能收到其他外界因素干扰。根据空间大小还要配备更衣间、缓冲间、风淋室、物料通道、通风管道等。下面我们谈下洁净室的分类和洁净室工程施工的要素。洁净室的分类一、按用途分类（1）工业洁净室--以无生命的微粒作为控制对象。主要控制无生命微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压。它适用于精密工业、电子工业、宇航工业、原子能工业、印刷工业、照相工业等部门。（2）生物洁净室--以有生命的微粒为控制对象，又可分为：1、一般生物洁净室。主要控制有生命微粒对工作对象的污染。同时内部材料要经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。可用于制药工业、食品工业、医疗设施、实验设施等。2、生物安全洁净室。主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染，内部需保持负压。 用于实验设施、生物工程、医疗设施等。二、按气流分类按气流可分：1、非单向流洁净室非单向流洁净室的原理就是稀释作用。当一股干净气流从送风口送入时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘埃浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释的效果当然越好。2、单向流洁净室单向洁净室的特点：a.全室断面上的流速比较均匀b.在工作区内流线平行（流线平行指时均流线彼此平行）c.在工作区内没有涡流单向流洁净室的分类一、垂直单项洁净室1、顶棚布满高效过滤器送风，全地板格栅回风这是典型的垂直单向流洁净室，优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净能力强，能够达到最高的洁净度级别。2、测布高效过滤器顶棚阻尼层送风，全地板格栅回风。3、顶棚和侧面布高效过滤器送风，全地板格栅回风。4、全顶棚送风，两侧下回风。

根据不同季节调控温湿度在满足生产工艺的前提下，从节能的角度出发，需要确定合适的洁净度等级、温度、相对湿度等参数。GMP规定的无尘洁净室生产条件为：温度18℃～26℃，相对湿度45%～65％。考虑到室内相对湿度过高易长霉菌，不利于洁净环境的维持，过低易产生静电，使人体感觉不适。根据制剂生产实际，只有部分工艺对温度或相对湿度有一定要求，其他均着眼于操作人员的舒适感。因此，从我国人们的习惯和体质看，夏天温度应从24℃升高到26℃，相对湿度45%~65%比较合适。冬天应该在20℃以上，而相对湿度从45％降到自然状态（如20％）则节能是明显的。减少无尘洁净室换气次数在保证洁净效果的前提下，减少换气次数、送风量是节能的重要手段之一。换气次数与生产工艺、设备先进程度及布置情况、洁净室大小及形状，以及人员密度等密切相关。如布置有普通安瓿灌封机的房间就需要较高的换气次数，而带有空气净化装置的洗灌封联动机的水针生产间，就只需较低换气次数即可保持相同的洁净度。适当降低照明强度无尘洁净室装修照明应以能满足工人生理、心理上的要求为前提。对于高照度操作点可以采用局部照明，而不宜提高整个车间的最低照度标准。同时，非生产房间照明应低于生产房间，但以不低于100流明为宜。根据日本工业标准照度级别，中精密度操作定为200流明，而操作不会超过中精密度操作，因此把最低照度从≥300流明降到150流明是合适的，此项措施可显著节约能量。

(一)洁净室定义洁净室，亦称为无尘室或洁净室。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、廊坊学校实验室净化装修静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。即不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 哪里有学校实验室净化装修洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。洁净室洁净等级划分的原因：(二)洁净室等级世界各国均有自己定义的规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多。 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。